N2 Purge

设备功能：用于Load Port，提供氮气吹扫功能，达到降湿除尘的目的

关键词：

N2 Purge

所属分类：

EFEM辅助设备

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N2 Purge

设备功能及信息概述：

设备功能	用于Load Port，提供氮气吹扫功能，达到降湿除尘的目的
设备特点	台面具有FOUP传感器，取走FOUP后Purge停止，不会产生N2浪费
设备特点	通过流量开关实现2~200L/Min流量调节，经过60S~120S的Purge，可将RH值降低至10%（FOUP封闭情况下）；若FOUP自带Diffuser会减少N2 Purge时间及N2的消耗
控制形式	采用PLC控制，一套控制系统可以实现多组N2 Purge同时控制；通讯PLC能具备SECS通讯协议，与上位系统进行实时通讯，满足设备远程控制的功能

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